台風と半導体製造装置

台風が来ると天気予報が気になる半導体エンジニア

半導体エンジニアは台風が来ると天気予報を随時確認します。半導体製造ラインに影響が出るのか、ラインを一旦止めるのか、判断が必要になるからです。

台風の場合、予報である程度予測できるので、急に対応を求められず準備ができる点はまだましなものです。建物に被害が出るものから、そうでなくても半導体製造装置の中には気圧変動に敏感なものもありますので、台風が来る場合、何らかの対応が必要です。

場合によっては、半導体製造ラインを一旦停止します。停止すると言っても、装置自体を完全停止する訳ではなく、台風が通り過ぎるのを待つという感じです。装置の中には一旦完全停止させてしまうと、再立ち上げに数日かかるものもあり、装置は通電状態を保ち、台風で装置にダメージが入らないような処置を一部するという程度です。台風の影響が出ない装置であれば、生産を続ける装置もありますが、生産計画を立てる部署の判断に依ります。

台風で停電したら、大変な事態になります。急に電源が落ちたら故障するような繊細な半導体製造装置に関しては、無停電電源装置(UPS)によりバックアップ電源を設けていることが普通です。それでも、実際に停電が起きたら、UPSの電源容量では長く電源を維持できませんので、半導体製造装置を停止させるのか、UPS電源で維持できる時間内に電力会社が電源を復旧できる見込みが立つのか、半導体エンジニアに判断が求められます。上司に判断を仰ぐ時間がなく、現場力が求められる局面は色々あるものです。それをやりがいと思うのかは人それぞれかもしれませんが。

ライター：　有峰行信